第十三屆半導體器件與加工工藝論壇——新型半導體功能材料與器件及其異質異構集成技術暨新型半導體功能材料與器件專項技術培訓班由中國科學院人事局資助，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所承辦，上海材料與制造大型儀器區域中心、蘇州納米科技發展有限公司和微組裝技術創新中心協辦，蔡司(ZEISS)贊助。該論壇作為第十五屆中國國際納米技術產業博覽會關鍵技術論壇之一，于2024年10月22日至24日在蘇州國際博覽中心成功舉辦。

本次論壇邀請來自高校、研究所及企業專注于顯示技術方面的16位著名專家學者傳授相關專業知識，深入剖析新型顯示技術難點，分析相關產業的發展趨勢，進行深入淺出的理論培訓和技術研討。本次論壇由納米加工平臺曾中明主任，張曉東研究員和鞠濤高級工程師主持。張寶順研究員首先為論壇致辭，張老師表示當今世界，正經歷一場以智能化和信息化為核心的深刻變革，半導體科學技術無疑是這場變革的引擎與基石。而本屆論精準地聚焦于“新型半導體功能材料與器件及其異質異構集成技術”這一前沿主題，旨在匯聚該領域的頂尖智慧與前沿力量，搭建一個高水平、深層次、多維度的交流與合作平臺。

曾中明主持現場

張寶順研究員致辭

本次論壇共吸引來自北京大學、南京大學、西安交通大學、蘇州大學、電子科技大學、中國科學院半導體研究所、松山湖材料實驗室，愛發科東方檢測技術有限公司等全國各地近100家企事業單位200余名專業技術人員、專業學者以及學生參加。

報告：硅基光電子及其應用

周治平，北京大學教授，愛杰廣電創始人

報告：氮化鎵大功率太赫茲倍頻源

馮志紅，中國電子科技集團公司第十三研究所研究員，首席科學家

報告：用于空間激光通信的MEMS快反鏡研制

謝會開，北京理工大學教授，北京理工大學重慶微電子研究所院長

報告：射頻微系統三維異構集成技術

崔凱，微組裝技術創新中心副主任

報告：基于薄膜鈮酸鋰的電光和無源光集成器件

管小偉，浙江大學嘉興研究院研究員

報告：ZEISS顯微鏡在半導體領域的解決方案

邱婷婷，蔡司華東應用經理

張曉東研究員主持現場

報告：氮化鎵功率器件與異質集成技術研究

張葦杭，西安電子科技大學教授、廣州第三代半導體創新中心副主任

報告：氧化鎵異質集成結構與器件

葉建東，南京大學教授

報告：光電智能計算器件和技術

王健，華中科技大學教授，武漢光電國家研究中心副主任

報告：半導體界面的界面熱阻

程哲，北京大學研究員

鞠濤高級工程師主持現場

報告：大尺寸晶圓室溫臨時鍵合與精密減薄

萬青，甬江實驗室研究中心主任

報告：異質集成材料與器件

游天桂，中國科學院上海微系統與信息技術研究所研究員

報告：面向異質異構集成的銅銅低溫鍵合工藝開發及其界面熱-力學特性建模仿真方法

馬盛林，廈門大學教授

報告：臨時鍵合技術在異質異構集成中的應用和挑戰

張雷，蘇斯貿易(上海)有限公司涂膠和臨時鍵合技術產品經理

報告：納米加工平臺與異構集成技術開發

鞠濤，中科院蘇州納米所納米加工平臺副主任，高級工程師

報告：蘇州工業園區納米技術應用產業發展情況

錢清徐，蘇州納米科技發展有限公司招商部高級項目經理

論壇現場專家們不僅全面分享了各自的研究成果和獨到見解，呈現了精彩紛呈的報告，還與參會者就新型顯示器件關鍵技術與工藝的發展趨勢、技術挑戰及市場機遇等議題展開了深入交流。本次論壇為來自全國各地、專注于新型顯示領域的專家學者提供了一個寶貴的思想碰撞與交流平臺。

10月24日上午，部分與會人員參與了平臺組織的實地參觀活動，前往蘇州納米所納米加工平臺以及蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司的MEMSRIGHT進行了參觀和技術交流。在專業工作人員的細致講解和引導下，與會人員不僅近距離接觸到了先進的制造設備和技術，還深入了解了這些技術在實際應用中的重要價值和廣闊前景。

納米加工平臺

MEMS中試量產平臺

本屆半導體器件與加工工藝論壇為公益培訓，該論壇持續十余年，致力于微納加工技術領域的人才培養和產學研結合。每年設定不同的主題方向，推動微納技術的創新發展。

納米加工平臺是集微納加工、器件檢測及封裝于一體的公共開放平臺。平臺擁有完備的技術設施和高水平的工藝服務，有力支撐了區域內科研機構和企業的自主創新。同時，通過開展納米技術相關培訓，搭建了一個促進納米技術人才交流與學習的平臺。

2025年10月27日